ナノカーボン物性工学分野

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     教授 永瀬雅夫           准教授 大野恭秀

 

研究課題

 グラフェンはポストシリコン材料として期待されている。我々は、グラフェンのナノ物性計測技術の開発と、そこで得られた知見を元に、新機能デバイスを創生することを目標に研究を進めている。SiC基板上に高品質な単結晶グラフェンを作製する技術の開発に成功した。また、グラフェンの各種ナノ物性評価も行っている。

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研究トピックス

●単層単結晶グラフェン

赤外線アニール炉を用いて高精度に加熱条件を制御することにより、高品質な単層単結晶グラフェンをSiC試料全面(10mm角)に作製することに成功している。

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●グラフェン原子層スイッチ

グラフェンと金属プローブのコンタクト抵抗が原子レベルのステップ構造を走査することにより大きく変化することを見いだした。

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